VSH82 - Smartline – Transmitter, Anzeige- und Regelgeräte

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VSH82 - Smartline™ Vakuum-Transmitter

Absolutdruck 1000 mbar bis 1 x 10^-9 mbar (=hPa), 750 Torr bis 1 x 10^-9 Torr

Die kompakte Kombinations-Messröhre VSH82 (Pirani/Heißkathode) misst Absolutdruck von Atmosphäre bis Ultrahochvakuum. Die Intelligenz interner Mikroprozessoren sorgt für einen nahtlosen Übergang der beiden Sensorprinzipien und damit für hohe Genauigkeit..

Ihre Vorteile

Großer Messbereich durch Kombinationssensorik
Patentiertes Pulspirani mit erweitertem Messbereich, dadurch Betrieb der Heißkathode bei kleinerem Druck und höhere Lebensdauer
Exzellente Genauigkeit und Reproduzierbarkeit
Logarithmischer 0 - 10 V Signalausgang und digitale RS 485 Schnittstelle
Einfach auswechselbare Sensorköpfe, abgesteckt bis 180°C am Flansch ausheizbar
Korrekte Messwerte durch separate einstellbare Gasartkorrekturfaktoren für Pirani und Heißkathode
Bayard-Alpert mit Doppelfilament und automatischer Umschaltung, unempfindlich gegen Lufteinbruch
Zwei unabhängige, potentialfreie Relaisschaltpunkte

Beispiele für Anwendungen

Analysentechnik
Aufdampf- und Beschichtungsanlagen
Messen und Steuern im Fein- und Hochvakuumbereich
Verfahrenstechnik
Vakuumöfen
Sputteranlagen

Typen- bezeichnung	Beschreibung
VSH82MV	SmartLine Vakuum-Messumformer[…] Kombinationssensor Bayard Alpert/Pirani Absolutdruck 1000 - 1,0e-9 mbar Ausgangssignal: 1,4-8,6 V (logarithmisch) Serielle Schnittstelle RS485 Edelstahlflansch DN40 ISO KF Spannungsversorgung: 19 - 30 VDC 2 Relais-Schaltpunkte 60V/0,5A Metallgehäuse	Produkt anfragen
VSH82MVCF	SmartLine Vakuum-Messumformer[…] Kombinationssensor Bayard Alpert/Pirani Absolutdruck 1000 - 1,0e-9 mbar Ausgangssignal: 1,4-8,6 V (logarithmisch) Serielle Schnittstelle RS485 Edelstahlflansch DN40 CF Spannungsversorgung: 19 - 30 VDC 2 Relais-Schaltpunkte 60V/0,5A Metallgehäuse	Produkt anfragen
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Typen- bezeichnung	Beschreibung
BVSH82CF	Sensormodul für VSH82MVCF, DN 40 CF[…]
BVSH82KF40	Sensormodul f. VSH82MV DN 40 ISO-KF[…]
W1506002	Messkabel, geschirmt, 2 m (für VD9 mit VSH/VSM)[…] geschirmt, 15 pol. SubD, 6 pol. Amphenol
W1506006	Messkabel, geschirmt, 6 m (für VD9 mit VSH/VSM)[…] aus flex. geschirmter Steuerleitung Typ:TRONIC-CY (LIY-CY) 5x0,25qmm, Kabellänge 6 Meter, ein Kabelende ist mit einer 6-pol. Amphenol Stecker T 3424 501; das andere Ende ist mit einer 15-pol. Sub-D-Buchsenleiste mit metallisierten Gehäuse ausgerüstet;
W1515002	Messkabel, geschirmt, 2 m (für VD10 mit VSH/VSM)[…] doppelt geschirmt, 15 pol. SubD, 15 pol. SubD Verteiler
W1515006	Messkabel, geschirmt, 6 m (für VD10 mit VSH/VSM)[…] doppelt geschirmt, 15 pol. SubD, 15 pol. SubD Verteiler

Messprinzip	Wärmeleitung (Impuls-Pirani), Ionisation mit Heißkathode (Bayard Alpert), beide gasartabhängig
Medienberührendes Material	Edelstahl 1.4307, Ni, W, Pt, yttriertes Iridium, Glas, Keramik
Messbereich	1000 mbar bis 1 x 10^-9 mbar (750 Torr bis 1 x 10^-9 Torr), zulässige Überlast 4 bar absolut
Genauigkeit	< 30 % vom Messwert bei 1000 mbar bis 20 mbar < 10 % vom Messwert bei 20 mbar bis 5 x 10^-3 mbar < 15% vom Messwert bei < 5 x 10^-3 mbar
Wiederholgenauigkeit	5 %
Reaktionszeit	200 ms, 500 ms beim Umschalten der BA-Emissionsströme
Emmissionsstrom	10µA, 100 µA, 1 mA
Degas	Ohmsche Heizung der Anode
Spannungsversorgung	19 - 30 VDC
Elektrischer Anschluss	Sub-D, 15polig, männlich
Leistungsaufnahme	Ca. 6,5 W (ohne Schaltpunkte)
Umgebungstemperatur	5 °C...+50°C
Lagertemperatur	20 °C...+70°C
Maximal Ausheiztemperatur	180°C am Flansch (Elektronik abgenommen)
Ausgangssignal	0 - 10 VDC, Messbereich 2,0 - 8,6 VDC, logarithm., 1V pro Dekade
Serielle Schnittstelle	RS485: 9600 baud, Adressschalter 1 - 15
Schaltpunkte	2 Relais-Umschalter, 60 V, 0,5 A
Vakuumanschluss	Edelstahlflansch DN 40 ISO-KF (VSH82MV) Edelstahlconflatflansch DN 40 CF (VSH82MVCF)
Schutzart	IP40
Gewicht	Ca. 665 g
Vout /V = 0,6 log (p/mbar) + 6,8 p /mbar = 10^{( (Vout /V – 6,8) / 0,6 )}