| Messprinzip |
Wärmeleitung (Impuls-Pirani),
Kaltkathode: Invertiertes Magnetron, beide gasartabhängig |
| Medienberührendes Material |
Edelstahl 1.4307, Nickel, Wolfram, Molybdän, Glas |
| Messbereich |
1000 mbar bis 5,0e-9 mbar (750 Torr bis 5,0e-9 Torr), zulässige Überlast: 4 bar absolut |
| Genauigkeit |
< 30 % vom Messwert bei 1000 mbar bis 20 mbar
< 10 % vom Messwert bei 20 mbar bis 5 x 10-3 mbar
< 25% vom Messwert bei 5 x 10-3 mbar bis 1 x 10-7 mbar
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| Wiederholgenauigkeit |
5% |
| Reaktionszeit |
200 ms, 500 ms beim Einschalten der Kaltkathode |
| Kathodenspannung |
Max. 2,5 kV |
| Spannungsversorgung |
19 - 30 VDC |
| Elektrischer Anschluss |
Sub-D, 15polig, männlich |
| Leistungsaufnahme |
Ca. 2,5 W (ohne Schaltpunkte) |
| Umgebungstemperatur |
+5 °C...+50°C |
| Lagertemperatur |
-20 °C...+70°C |
| Maximale Ausheiztemperatur |
150°C am Flansch (Elektronik abgenommen) |
| Ausgangssignal |
0 - 10 VDC, Messbereich 1,8 - 8,6 VDC, logarithmisch, 1V pro Dekade |
| Serielle Schnittstelle |
RS485: 9600 baud, Adressschalter 1- 15 |
| Schaltpunkte |
2 Relais-Umschalter, 60 V, 0,5 A |
| Vakuumanschluss |
Edelstahlflansch DN 25 ISO-KF (VSM72MV), Edelstahlconflatflansch DN 40 CF (VSM72MVCF) |
| Schutzart |
IP40 |
| Gewicht |
Ca. 570 g |
Vout /V = 0,6 log (p/mbar) + 6,8
p /mbar = 10( (Vout /V – 6,8) / 0,6 ) |
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